光源系统设备验收阶段圆满完成,接来就是阶光刻机的组装。

除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余零件所需还有更确的镜组、反镜，以及arf光刻胶等,国内暂时还没有研发来。

但这都不是问题。

因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩Loading...

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